国内首个12吋线中试线，具有晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理核化学气象成绩、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等先进工艺及设备，可为光学、声学、力学、生物传感器开发提供服务.
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