12吋线中试线
1.设备工艺能力
2.中试线客户产品
3.中试线工艺路线图
4.关键工艺开发状况
5.工艺能力及精度
国内首个12吋线中试线，具有晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理核化学气象成绩、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等先进工艺及设备，可为光学、声学、力学、生物传感器开发提供服务.